В России создан уникальный ультрафиолетовый лазер для производства микросхем на замену американскому
В Новосибирске создан 257-нанометровый лазер для печати микросхем, у которого нет аналогов в России. Он использует в работе УФ-излучение и является заменителем американского лазера компании Coherent...