Технический прогресс в сфере производства чипов наблюдается не только в сегменте литографии, но и на уровне компоновочных решений. Одним из перспективных направлений считается переход от круглых кремниевых пластин типоразмера 300 мм к квадратным типоразмера 600 мм. Компания Nikon представила систему DSP-100, которая может работать с кремниевыми подложками такого типа. Источник изображения: Nikon...
